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高精度復(fù)合式影像測量助力ASM先進科技微小尺寸實現(xiàn)高精度檢測

面臨的挑戰(zhàn):
近年來,隨著大國之間競爭激烈,各國在半導(dǎo)體行業(yè)加大投入研發(fā),搶占市場份額。在此背景下,ASM在半導(dǎo)體芯片封裝領(lǐng)域加大研發(fā),對微小尺寸檢測領(lǐng)域需求提出了苛刻要求,現(xiàn)有檢測設(shè)備精度已無法滿足。

ASM香港公司決定在香港總部成立微小尺寸檢測實驗室,采用??怂箍灯煜翺ptiv品牌的高精度復(fù)合式影像測量儀來進行尺寸測量驗證,從而提升公司在研發(fā)階段對微小尺寸測量的可靠性,助力公司在行業(yè)內(nèi)形成標(biāo)桿。


來自??怂箍档慕鉀Q方案:
   前期驗證階段,??怂箍祵蛻粽{(diào)研產(chǎn)品進行測試。首先使用客戶深圳工廠的一臺Optiv Advantage 443HA(E1=0.5+L/900μm ;E2=1.0+L/700μm)進行測試,通過客戶現(xiàn)有的這臺設(shè)備在成像效果和測量精度上都無法滿足需求,客戶建議我們提供更高精度設(shè)備進行測試。

   為了解決客戶難點,??怂箍涤跋駡F隊資深應(yīng)用工程師和ASM測量工程師為骨干共同參與測試攻關(guān)。海克斯康負責(zé)光源和相機改進,并協(xié)調(diào)更高精度測試設(shè)備。經(jīng)過使用計量院一臺更高精度Optiv Reference 10103(E1=0.3+L/600μm ;E2=0.6+L/600μm)影像測量儀,更換了更高成像效果的鏡頭和光源后,先后由工程師多次測試,最終測試數(shù)據(jù)滿足要求。

   海克斯康工程師表示:“更高精度設(shè)備不能解決所有高標(biāo)準(zhǔn)尺寸的測量,還需要更高像素相機,更好的光源效果才能達到測試效果,三者缺一不可!”參與測試的ASM測量工程師表示:“??怂箍涤米钋把氐脑O(shè)備,加上對前沿技術(shù)的快速應(yīng)用,能在短時間內(nèi)促成并測試到滿意結(jié)果,很欽佩海克斯康人的行動力,為以后的廣泛合作打下了堅實的基礎(chǔ)!”


解決方案
   通過前期驗證完成后,海克斯康影像團隊對設(shè)備方案進行調(diào)整,推薦的高精度Optiv Reference 10103(E1=0.3+L/600μm ;E2=0.6+L/600μm)影像測量儀最終得到ASM香港資深研發(fā)工程師認可,并確認采購此設(shè)備。ASM香港資深研發(fā)工程師表示:“在短時間內(nèi)完成設(shè)備評估,超出了我的預(yù)期,我對??怂箍档脑O(shè)備有了更高標(biāo)準(zhǔn)的認知,是可信賴的合作伙伴!


客戶簡介:
    ASMPT于1975年在香港成立,總部位于新加坡,自1989年起在香港聯(lián)交所上市。集團是全球首個為半導(dǎo)體封裝及電子產(chǎn)品生產(chǎn)的所有工藝步驟提供技術(shù)和解決方案的設(shè)備制造商,包括從半導(dǎo)體封裝材料和后段(芯片集成、焊接、封裝)到SMT 工藝。全球并無其他設(shè)備供應(yīng)商擁有類似的全面產(chǎn)品組合及對裝嵌及SMT程序的廣泛知識及經(jīng)驗。 

    后工序設(shè)備業(yè)務(wù)生產(chǎn)及提供半導(dǎo)體裝嵌及封裝設(shè)備,應(yīng)用于微電子,半導(dǎo)體,光電子,及光電市場。其提供多元化產(chǎn)品如固晶系統(tǒng),焊線系統(tǒng),滴膠系統(tǒng),切筋及成型系統(tǒng)及全方位生產(chǎn)線設(shè)備。物料業(yè)務(wù)生產(chǎn)及提供半導(dǎo)體封裝材料,由引線框架部和模塑互連基板部構(gòu)成。 SMT 解決方案業(yè)務(wù)負責(zé)為 SMT、半導(dǎo)體和太陽能市場開發(fā)和分銷一流的 DEK 印刷機,以及一流的 SIPLACE SMT 貼裝解決方案。

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